朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

朗道燧岩在 2026 年第二十六届中国国际工业博览会上首次展出极紫外（EUV）光源系统样机，国产化率达到 90%，距离量产仍需 3 至 5 年时间。本次展出的光源系统采用与国际领先厂商一致的技术路线，核心零部件绝大多数为自主研发，可用于芯片曝光测试。