华洋精机联手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M，支持纳米级精度

华洋精机携手蔡司推出半导体高精度测量设备 COSMA-M，瞄准光罩、先进封装及晶圆领域的测量需求。该设备提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，结合配套模块可实现全自动化测量。COSMA-M 应用范围覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV 和 CPO 等领域，目前已获得部分潜在客户的送样验证测试。