华洋精机携手蔡司推出半导体测量设备 COSMA-M

中国台湾半导体设备制造商华洋精机携手蔡司推出高精度半导体测量设备 COSMA-M，目前已获得部分潜在客户的送样验证测试。 该设备主要面向光罩、先进封装及晶圆领域的测量需求，提供纳米级测量精度，稳定度达 3σ＜3nm，结合配套模块可实现全自动化测量。其应用范围覆盖 DUV 掩膜、先进封装、TGV 和 CPO 等领域。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。