浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片

浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队国内首次发布了硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片两项成果。经检测，硅-28 硅烷特气的同位素丰度为 99.99576%、化学纯度为 99.99998%，外延层中的硅-28 丰度为 99.9937%，补齐了国内硅-28 从特气到外延片的关键环节。