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浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片

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AI 综述

浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在第二届量子科技前沿论坛上,国内首次发布了硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片两项成果,补齐了国内硅-28 从特气到外延片的关键环节。 经检测,硅-28 硅烷特气的同位素丰度为 99.99576%、化学纯度为 99.99998%,外延层中的硅-28 丰度为 99.9937%。

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10月22日
  1. IT之家
    浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片

    浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队国内首次发布了硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片两项成果。经检测,硅-28 硅烷特气的同位素丰度为 99.99576%、化学纯度为 99.99998%,外延层中的硅-28 丰度为 99.9937%,补齐了国内硅-28 从特气到外延片的关键环节。

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