尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110

尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm，每小时可处理 72 块面板，计划 2027 年 4 月上市。该产品是 DSP-100 的升级版本，针对光学系统进行了重新设计，处理能力相比前代提升 40%，并支持多种尺寸方形基板及 300mm 晶圆。