尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110
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尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110
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尼康推出了面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，计划于 2027 年 4 月上市。 该设备是 DSP-100 的升级版本，其分辨率为 1.5μm，每小时可处理 72 块面板，处理能力比较前代提升 40%，并支持多种尺寸方形基板及 300mm 晶圆。
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最新进展10月14日 16:20
尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110报道时间线
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10月14日
- IT之家尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110
尼康推出面向先进封装的数字曝光设备 DSP-110，分辨率为 1.5μm，每小时可处理 72 块面板，计划 2027 年 4 月上市。该产品是 DSP-100 的升级版本，针对光学系统进行了重新设计，处理能力相比前代提升 40%，并支持多种尺寸方形基板及 300mm 晶圆。
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