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美光认为 4F² DRAM 无可行扩展路径,规划 3D DRAM 与 1ε/ζÅ 等节点技术
美光认为 4F² DRAM 内存无可行扩展路径,1ε 用晶圆键合、 ζÅ 用 High NA EUV
AI 导读
美光在 2026 年度技术网络研讨会上表示,经过多年探索认为 4F² DRAM 缺乏可行扩展路径,未来将以 3D DRAM 作为发展方向。其第 7 代 10nm 级 1δ 节点已在良率爬坡阶段且带来约 25% 的密度提升,第 8 代 1ε 引入晶圆键合技术,亚 10nm 级的 ζÅ 节点将导入 High NA EUV 光刻,ηÅ 正在寻路新材料。
来源:IT之家 · ithome.com